質(zhì)量流量控制器是一種比較常見的測量儀器，它的使用范圍是很廣泛的，在很多領(lǐng)域中都有使用。質(zhì)量流量控制器與其他的一些流量計不同，它除了可以進行氣體流量的計量工作之外，還可以控制整個領(lǐng)域，其技術(shù)是很先進的，受到了廣大用戶的好評。

　　質(zhì)量流量控制器采用帶背光寬溫點陣型液晶顯示器，所有顯示都是中文，功能多而實用，特別方便使用者操作，減少不必要的麻煩和錯誤。質(zhì)量流量控制器無需預(yù)熱、瞬間啟動的特點使得質(zhì)量流量控制器在短短一秒鐘內(nèi)就能開始控制真空鍍膜過程系統(tǒng)的流量，實時測量顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度參數(shù)，并將運用溫度與壓力對流量參數(shù)進行充分補充。氣體模塊程序直接通過質(zhì)量流量控制器自帶的屏幕顯示，并可直接通過屏幕按鈕操作切換氣體種類。

　　在使用質(zhì)量流量控制器進行作業(yè)時，結(jié)合我們的質(zhì)量流量控制器使用經(jīng)驗及測試情況，有幾個方面我們應(yīng)該要注意的：

　　當(dāng)儀表的工作條件變換時，對儀表的零位應(yīng)重新加以調(diào)整。同時，儀表的導(dǎo)管必須水平安裝，要用水平儀校準。否則將增大工作條件變化對零位漂移的影響。機架更不可有震動或搖擺等情況故不宜在舶上使用。

　　流量范圍內(nèi)的大量測試數(shù)據(jù)進行關(guān)聯(lián)運算，用小二乘法原理求直線回歸方程，其相關(guān)系數(shù)λ值均在0.999～0.9999范圍內(nèi)，證明儀表具有良好的線性度。但線性度與量程大小有著流量越大，非線性越嚴重，所以一般把量程限定在0～4標升/時以內(nèi)，以確保良好的線性度。為了能測量大流量而又保證線性度，質(zhì)量流量控制器可采用分流原理來擴展儀表的量程。如采取旁路管、文丘利管、孔板等配合使用，量程可分別擴大到每小時幾十、幾百、幾千標升，直至幾萬標立方。

　　雖然真實氣體的比熱隨壓力的不同而有變化甚至某些氣體的變動幅度還比較大，但質(zhì)量流量控制器的測量精度仍能保持桂一定范圍內(nèi)。

　　導(dǎo)管材質(zhì)的選擇，除了考慮耐腐蝕性以外，以選用導(dǎo)熱性能較好的材料為佳。

　　由于質(zhì)量流量控制器這類儀表必須在氣體比熱相對穩(wěn)定的情況下才能進行正常工作所以凡是氣體成分不穩(wěn)定、氣體中央帶霧沫以及工作條件逼近氣體的液化臨界區(qū)等情況由于比熱值很不穩(wěn)定，均不宜使用這種儀表。

　　若改換了一種氣體介質(zhì)，好重新進行標定。質(zhì)量流量控制器說明書里經(jīng)常是介紹不重新標定，而僅根據(jù)兩種氣體的比熱來換算未經(jīng)標定的氣體流量雖簡單方便，但是這樣會造成較大的誤差，尤其是在高壓下工作時，我們發(fā)現(xiàn)質(zhì)量流量控制器的靈敏度并不*與比熱成正比關(guān)表，更應(yīng)該要重新標定為妥。